Mechanical properties of amorphous and nanocrystalline silicon thin films on flexible substrates

• Název česky: Mechanické vlastnosti amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev křemíku na flexibilních substrátech
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; SLÁDEK Petr; SŤAHEL Pavel
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: NENAMAT International Conference Proceedings NANO05
• Fakulta / Pracoviště MU: Pedagogická fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Mechanical properties; Amorphous silicon; Nanocrystalline Silicon
• Popis: DSI technika je jedna z nejvhodnějších metod pro sledování mechanických vlastností tenkých vrstev. Byla použita pro studioum tenkých vrstev amorfního a nanokrystalického křemíku deponovaného na flexibilních substrátech.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek