Informace o publikaci

Homogenization of CZ Si wafers by Tabula Rasa annealing

Název česky Homogenizace CZ Si desek pomocí žíhání Tabula Rasa
Autoři

MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej KUBĚNA Josef KUBĚNA Alan BURŠÍK Jiří

Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Physica B condensed matter
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Silicon; Infra red; Precipitates
Popis Rozdíly v precipitaci kyslíku, morfologie precipitátů a vývoj bodových defektů byly studovány pomocí experimentálních technik jako jsou infračervená absorpce, transmisní elektronová mikroskopie, leptací techniky a rtg difrakce.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info