Mgr. Martin Učík
e‑mail: |
---|
Počet publikací: 4
2024
-
High-power-density sputtering of industrial-scale targets: Case study of (Al,Cr)N
Materials and Design, rok: 2024, ročník: 237, vydání: January, DOI
2023
-
Investigation of ionized metal flux fraction at industrial conditions
Rok: 2023, druh: Konferenční abstrakty
-
NOVEL INDUSTRIAL SPUTTERING TECHNOLOGY WITH VERY HIGH IONIZED FLUX FRACTION OF DEPOSITED MATERIAL
Rok: 2023, druh: Konferenční abstrakty
-
Novel Sputter Cathode Design to Obtain Very High Ionized Flux Fraction of Deposited Material in Industrial Conditions
Rok: 2023, druh: Konferenční abstrakty