Informace o projektu

Informace o projektu
Aplikace sondových a hmotově-spektrometrických metod pro studium elementárních procesů v nízkoteplotním a technologicky orientovaném plazmatu

Logo poskytovatele
Kód projektu
GA202/00/1689
Období řešení
1/2000 - 1/2002
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta
Spolupracující organizace
Univerzita Karlova v Praze

Bude dále experimentálně i teoreticky rozvinuta metoda Langmuirovy sondy s cílem interpretovat data ze sondových měření i ve složitějších podmínkách plazmochemických reaktorů. Předpokládá se využití výsledků předchozího grantu GAČR a pokračování ve studiu rozdělovací funkce elektronů se směrovým rozlišením v plazmatu magnetronu a srovnání s teoretickým modelem. Modelovat se bude rovněž pohyb nabitých částic v doutnavém výboji v systému válcového magnetronu s cílem hlouběji porozumět procesům probíhajícím v technologicky orientovaných plazmochemických systémech. Dále se bude rozvíjet teorie sondy za středních tlaků v řádu jednotek kPa, zejména pomocí Monte Carlo a particle-in-cell modelů, a jejich srovnáním s experimentem s cílem vypracovat metodiku na měření koncentrace kladných a záporných iontů pomocí sondy za těchto podmínek. K interpretaci sondových dat významně přispěje znalost zastoupení jednotlivých iontů ve studovaném plazmatu, změřená pomocí hmotového spektrometru.

Publikace

Počet publikací: 1


Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info