Modelling of plasma potential waveform in capacitively coupled discharges

• Název česky: Počítání časového průběhu potenciálu plazmatu v kapacitně vázaných výbojích
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; ŽEMLIČKA Radek
• Rok publikování: 2012
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass - Book of Extended Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: capacitively coupled discharges; plasma potential; higher harmonic frequencies
• Popis: Prezentace vytvářeného modelu elektrického chování kapacitně vázaných výbojů. Model obsahuje nelineární chování stěnových vrstev prostorového náboje u obou elektrod.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Vzdělávací a kontaktní středisko pro průmyslové nanotechnologické úpravy povrchů
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy