Comparison of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by magnetron sputtering in well balanced and highly unbalanced magnetic field

• Autoři: SOUČEK Pavel; SCHMIDTOVÁ Tereza; ZÁBRANSKÝ Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr; BURŠÍK Jiří; PEŘINA Vratislav; PEI Yutao; DE HOSSON Jeff Th.M.
• Rok publikování: 2012
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass: Book of Extended Abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: magnetron sputtering; titanium carbide; nanocomposite
• Popis: nc-TiC/a-C:H coatings were prepare using a well balanced and highly unbalanced magnetron sputtering. Both series were found to show similar trends in mechanical and tribological properties depending only on the carbon content in the nc-TiC/a-C:H coatings.

Související projekty

• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev