Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS

• Název česky: Vplyv prietoku dusíka na hustotu rozprášených častíc v reaktívnom HiPIMS
• Autoři: BERNÁTOVÁ Katarína; FEKETE Matej; KLEIN Peter; HNILICA Jaroslav; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2020
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Pridaním reaktívneho plynu do HiPIMS procesu vznikajú nové možnosti deponovať nové typy materiálov s rôznym zložením. V tomto príspevku bola skúmaná časová závislosť hustoty rozprášených titánových atómov, iónov a ionizačného stupňa titánu v oblasti blízko povrchu terča a taktiež toku iónov na substrát v reaktívnom HiPIMS výboji.

Související projekty

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev
• R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications