Informace o publikaci

Effect of nitrogen on sputtered species number densities evolution in reactive HiPIMS

Název česky Vplyv prietoku dusíka na hustotu rozprášených častíc v reaktívnom HiPIMS
Autoři

BERNÁTOVÁ Katarína FEKETE Matej KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2020
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Pridaním reaktívneho plynu do HiPIMS procesu vznikajú nové možnosti deponovať nové typy materiálov s rôznym zložením. V tomto príspevku bola skúmaná časová závislosť hustoty rozprášených titánových atómov, iónov a ionizačného stupňa titánu v oblasti blízko povrchu terča a taktiež toku iónov na substrát v reaktívnom HiPIMS výboji.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info