Hard carbon films: Deposition and diagnostics

• Autoři: FRGALA Zdeněk; KUDRLE Vít; JANČA Jan; MEŠKO Marcel; ELIÁŠ Marek; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Acta Physica Slovaca
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Diamond; microwave plasma CVD

Přiložené soubory

• 385.pdf

• Popis: We studied the growth of microcrystalline diamond films on pre-treated Si and WC-Co substrates by microwave plasma chemical vapour deposition (MPCVD). The pre-treatment was varied and its effect on diamond film was studied.

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Výzkum a vývoj supertvrdých nanokrystalických kompositních materiálů
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek