Study of reaction between HMDSO and O atoms in afterglow

• Název česky: Studium reakce mezi parami HMDSO a kyslíkových atomů v dohasínajícím plazmatu
• Autoři: KUDRLE Vít; DOLEŽAL Vojtěch; TÁLSKÝ Antonín; JANČA Jan
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of ISPC 14
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasmachemical reaction; HMDSO; EPR

Přiložené soubory

• ispc03.zip

• Popis: V této práci je studována kinetika reakcí mezi atomárním kyslíkem a parami HMDSO. Pomocí spektroskopie electronové paramagnetické rezonance byla naměřena rychlostní konstanta.

Související projekty

• Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek