Analysis of the Transport of Ionized Titanium Atoms in a Highly Ionized Sputter Deposition Process

• Název česky: Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu
• Autoři: DE POUCQUES Ludovic; IMBERT Jean-Christophe; BOISSE-LAPORTE Carolline; BRETAGNE Jean; GANCIU Mihai; TEULÉ-GAY Lionel; VAŠINA Petr; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma processes and polymers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: ambipolar difussion; charged particle transport; high power pulsed; magnetron sputtering
• Popis: Studium transportu ionizovaných částic v pulzním IPVD procesu, článek

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek