Informace o publikaci

Scanning probe microscopy analysis of delaminated thin films

Název česky Analýza tenkých delaminovaných vrstev pomocí SPM
Autoři

KLAPETEK Petr BURŠÍKOVÁ Vilma VALTR Miroslav

Rok publikování 2007
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of Physics: Conference Series
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Scanning probe microscopy; delaminatio; thin films
Popis In this article the results of atomic force microscopy (AFM) and scaning thermal microscopy (SThM) of delaminated thin films are presented. It is shown that SThM data can be used for a very precise localisation of the delaminated areas that is necessary for the analysis of film material properties. Moreover, by using AFM it is also possible to characterize morphology of the blister upper boundary with a high resolution too. The quantitative results obtained by the above mentioned methods are compared with nanoindentation measurements.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info