Higher harmonics of plasma potential in capacitively coupled discharges

• Název česky: Vyšší harmoniky potenciálu plazmatu kapacitně vázaných výbojů
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; MORAVEC Zdeněk
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8 - Book of abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: higher harmonics; plasma; discharge; plasma potential
• Popis: Měření vyšších harmonických frekvencí potenciálu plazmatu v kapacitně vázaných výbojích pomocí nekompenzované sondy.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek