![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy
Název česky | Stanovení parametrů plazmatu RF výboje v neonu pomocí optické emisní spektroskopie |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2009 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | V RF výboji v neonu byla měřena koncentrace elektronů a elektronová teplota. Studium bylo zaměřeno na oblast výboje v blízkosti elektrody. Parametry byly studovány v závislosti na elektrickém výkonu dodávaném do výboje. |
Související projekty: |