Informace o publikaci
Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes
| Název česky | Alternativní metoda měření průtoku plynů a kapalin v depozících PVD a PECVD |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2011 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Book of Extended Abstracts POTENTIAL AND APPLICATIONS OF THIN CERAMIC AND METAL COATINGS 2011 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | flow measurement; PECVD; Prandtl-Pitot tube; Iron pentacarbonyl |
| Popis | V této práci je použita metoda měření průtoku plynů v případě. kdy nelze použít elektronické průtokoměry, jako například vysoce reaktivní plyny, nestabilní látky nebo dochází k jiným typům komplikací při použití průtokoměrů. Úspěšně jsme použilu metodu využívající Pitotovu trubici pro měření průtoku pentakarbonylu železa př syntéze železných nanočástic metodou PECVD. |
| Související projekty: |