Informace o publikaci
Využití hydridního PVD-PECVD procesu pro růst nc-TiC/a-C:H vrstev na zařízení s rotačními katodami
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2013 |
| Druh | Výzkumná zpráva |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Popis | *Výzkumná zpráva shrnuje výsledky rešerše, výzkumu a vývoje, testů a experimentů prováděných v roce 2013 na zakázku a ve spolupráci s firmou Pivot a.s. |