WIDE-PRESSURE-RANGE COPLANAR DIELECTRIC BARRIER DISCHARGE FOR HYDROCARBON CONTAMINATION REMOVAL IN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY

• Autoři: DUGÁČEK Ján; SŤAHEL Pavel; ČECH Jan; JURMANOVÁ Jana
• Rok publikování: 2016
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Hakone XV: International Symposium on High Pressure Low Temperature Plasma Chemistrywith joint COST TD1208 workshop Non-Equilibrium Plasmas with Liquids for Water and Surface Treatment. Book of Contributed Papers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/836
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma; discharge; WPR-CDBD; decontamination
• Popis: Čištění vakuových komor pomocí nízkoteplotního plazmatu-WPR-CDBD

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy