Method for reducing or removing organic and inorganic contamination from a vacuum system of imaging and analytical devices and device for carrying it out

• Název česky: Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění
• Autoři: SŤAHEL Pavel; ČERNÁK Mirko; NAVRÁTIL Zdeněk; HANIČINEC Martin; JIRUŠE Jaroslav; FIALA Jiří
• Rok publikování: 2017
• Druh: Patent
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Vydavatel: United States Patent and Trademark Office
• Stát vydání: Spojené státy americké
• Číslo patentu: US9,782,805
• www: https://patents.google.com/patent/US9782805
• Popis: Způsob snížení nebo odstranění organické a / nebo anorganické kontaminace z vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, přičemž alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuového prostoru vakuového systému je opatřena fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy je ochlazena na teplotu v rozmezí od 0 do 280 K, přičemž fotokatalytická vrstva je následně alespoň částečně ozařována elektromagnetickým zářením, který aktivuje fotokatalytickou reakci fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféru vnitřního vakuového prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminující látky, snižuje jejich koncentraci a / nebo koncentraci vody ve vnitřním vakuovém prostoru vakuového systému.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy