Informace o publikaci
Temporal evolution of sputtered species number densities in reactive HiPIMS with nitrogen admixture
| Název česky | Časový vývoj hustoty rozprášených častíc v reaktivnom HiPIMS procese s příměsí dusíku |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2019 |
| Druh | Další prezentace na konferencích |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Popis | V tejto práci bol študovaný efekt dusíka na časový vývoj výbojového prúdu, napätia, tlaku a ionizačného stupňa rozprášených častíc v HiPIMS procese v blízkosti terča. Časový vývoj hustoty rozprášených titánových atómov a iónov počas pulzu bol vyhodnotený pomocou spektroskopickej motódy využívajúcej efektívne vetviace pomery. Časový vývoj ionizačného stupňa rozprášených častíc je podobný ako vývoj hustoty titánových iónov počas celej hysteréznej krivky. Ionizačný stupeň rozprášených titánových atómov je okolo 90% nezávisle na prietoku dusíka. |
| Související projekty: |