Metody měření polovodičových součástek: rtg, optická spektroskopie

• Autoři: CAHA Ondřej; HUMLÍČEK Josef
• Rok publikování: 2020
• Druh: Projekty výzkumu a vývoje
• Fakulta / Pracoviště MU: Středoevropský technologický institut
• Popis: Výzkumná zpráva se zabývá metodami analýz polovodičových součástek. Popsány jsou metody rtg difrakce pro detekci elastického napětí, mapování gradientu dopingu v silně legovaném křemíku. Dále pak optickou spektroskopií k určování koncentrací příměsí v silně legovaném polovodiči.

Související projekty

• Výzkum a vývoj vysokonapěťových Si diod pro efektivní konverzi vysokých proudových výkonů