Technological application and spectral diagnostics of rf discharges

• Autoři: MAŠEK Jaroslav; BRABLEC Antonín; BRABLEC Antonín
• Rok publikování: 1997
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Plasma physics and plasma technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma discharges; spectral diagnostics

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek