Informace o publikaci
Erratum: “Optical spectroscopy for sputtering process characterization” [J. Appl. Phys. 127, 211101 (2020)]
| Autoři | |
|---|---|
| Rok publikování | 2024 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of Applied Physics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | https://pubs.aip.org/aip/jap/article/136/6/069904/3307369/Erratum-Optical-spectroscopy-for-sputtering |
| Doi | https://doi.org/10.1063/5.0228273 |