Deposits from Hexamethyldisiloxane in a Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure

• Autoři: SONNENFELD Axel; TUN T. M.; ZAJÍČKOVÁ Lenka; WAGNER Hans-Erich; BEHNKE J. F.; HIPPLER R.
• Rok publikování: 2000
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of HAKONE VII
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Popis: Deposits from Hexamethyldisiloxane in a Dielectric Barrier Discharge at Atmospheric Pressure

Související projekty

• Plazmová depozice ochranných vrstev: charakterizace připravených vrstev a diagnostika užitého reaktivního plazmatu
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek