New precursors for metallic copper based on ethanolamine complexes of Cu(hfacac)(2)

• Autoři: PINKAS Jiří; BAXTER D. V.; CHISHOLM M. H.; CAULTON K. G.
• Rok publikování: 1996
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Anorganická chemie
• Klíčová slova: copper; CVD