Analytical electron microscopy of plasma deposited carbon nanostructures

• Název česky: Analýza uhlíkovým nanostruktur připravných v plazmatu elektronovou mikroskopií
• Autoři: BURŠÍK Jiří; ELIÁŠ Marek; JAŠEK Ondřej; KUDRLE Vít; BUBLAN Martin; ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 7th Multinational Congress on Microscopy
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: electron microscopy; carbon nanostructures; plasma
• Popis: Studované uhlíkové nanostruktury byly připraveny na substrátech Si s tenkou vrstvou katalyzátoru Fe dvěma PECVD metodami. V prvním případě šlo o mikrovlnný výboj za atmosférického tlaku v druhém pak induktivně vázaný vysokofrekvenční výboj. Ke studiu mikrostruktury byl použit skenovací elektronový mikroskop Jeol 6460 s EDX analyzátorem INCA a transmisní elektronový mikroskop Philips CM12 s EDAX analyzátorem.

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek