Preparation of protective coatings on polycarbonate from CH4/HMDSZ mixture using PECVD

• Název česky: Příprava ochranných vrstev na polykarbonát ze směsi methanu a HMDSZ s použitím PECVD
• Autoři: KELAR Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Juniormat 07
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; polycarbonate; HMDSZ
• Popis: Předmětem příspěvku byla příprava ochranných vrstev na polykarbonát ze směsi methanu a HMDSZ s použitím PECVD a charkterizace vlastností připravených vzorků.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
• Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie