Higher harmonic frequencies measured in Capacitively Coupled Plasma

• Název česky: Vyšší harmonické frekvence měřené v kapacitně vázaném plazmatu
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; MORAVEC Zdeněk
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 2nd CESPC - Book of extended abstracts
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: plasma; higher harmonics
• Popis: Měření vyšších harmonických frekvencí v nízkotlakém kapacitně vázaném výboji a závislost jejich amplitud na parametrech přizpůsobovacího členu.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek