Study of a fast high power pulsed magnetron discharge: role of plasma deconfinement on the charged particle transport

• Název česky: Studium rychlého pulzního magnetronového výboje - transport rozprášených ionizoných částiv v plazmatu s magnetickým polem
• Autoři: VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; DE POUCQUES Ludovic; BRETAGNE Jean; BOISSE-LAPORTE Caroline; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Sources Science and Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: high power pulses; magnetron
• Popis: Studuje transport rozprášených částic směrem od magnetronového terče buzeného pulzy velkého výkonu k substrátu.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek