Informace o publikaci
Pressure Effect on the Velocity and Flux Distributions of Sputtered Metal Species in Magnetron Discharge Measured by Space-Resolved Tunable Diode Laser Induced Fluorescence
| Název česky | Efekt tlaku na rozdělení rychlostí a toků rozprášených kovových částic při magnetronovém výboji měřený pomocí prostorově rozlišené TDLIF |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2009 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Plasma processes and polymers |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | anisotropy; laser-induced fluorescence (LIF); magnetron; sputtering |
| Popis | Tlak termalizuje rozprášené částice. Prostorově rozlišené rozdělní rychlostí titanových atomů v DC magnetronovém výboji bylo studováno pomocí TD-LIF. Titanový přechod 3d24s2 - 3d2(3F)4s4p(1P0) na vlnové délce lambda_0 = 398.289 nm byl použit k excitaci neutrálních Ti atomů a k měření profilu rozdělení rychlostí skrz signál TD-LIF, měřený na 736.31 nm. Dvě skupiny kovových částic, jmenovitě energetické a termalizované atomy, jsou zřetelně rozlišitelné a bylo určeno i odpovídající rozdělení toků podél směru laserového paprsku. Článek se zabývá důležitostí energetických částic vs. výbojový tlak zvláště v blízkosti terče. |