Informace o projektu

Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku

Logo poskytovatele
Kód projektu
GA202/02/0880
Období řešení
1/2002 - 12/2004
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta

Cílem projektu je prozkoumat možnost úpravy povrchů různých polymerů a depozice SiO2, nitridů křemíku a polymerů obsahující křemík v doutnavém výboji za atmosférického tlaku. Tichý výboj, doutnavý výboj a podmínky přechodu mezi nimi budou studovány v různých směsích plynů pomocí elektrického měření, záznamu obrazů digitální kamerou a optickou emisní spektroskopií. Vlastnosti obou druhů výbojů budou srovnávány při úpravě povrchů a při depozici. Obdobné srovnání bude provedeno pro výboje za atmosférického tlaku a pro nízkotlaké výboje. Opracované povrchy a nanesené tenké vrstvy budou zkoumány několika různými diagnostickými technikami.

Publikace

Počet publikací: 34


Předchozí 1 2 3 4 Další