Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

• Název česky: Depozice tenkých organosilikonových polymerních vrstev v doutnavém výboji za atmosférického tlaku
• Autoři: TRUNEC David; NAVRÁTIL Zdeněk; SŤAHEL Pavel; ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; ČECH Jan
• Rok publikování: 2004
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of physics D: Applied physics
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.iop.org/EJ/article/0022-3727/37/15/010/d4_15_010.pdf
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: atmospheric presure glow discharge; nitrogen; deposition; organosilicon
• Popis: Doutnavý výboj za atmosférického tlaku (APGD) hořící v dusíku s malou příměsí organosilikonových sloučenin jako hexametyldisilazan nebo hexametydisiloxan byl použit pro depozici tenkých polymerních vrstev.

Související projekty

• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku
• Využití povrchového výboje buzeného za atmosferického tlaku pro modifikaci povrchů a depozici ochranných polymerních vrstev
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek