Spatial-resolved optical emission spectroscopy of the spoke in non-reactive HiPIMS

• Autoři: ŠLAPANSKÁ Marta; KROKER Michael; HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2021
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 23rd Symposium on Application of Plasma Processes, Book of Contributed Papers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://neon.dpp.fmph.uniba.sk/sapp/
• Klíčová slova: HiPIMS, ionisation zones, spokes, optical emission spectroscopy, titanium

Související projekty

• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev