PROPERTIES OF MODIFIED AMORPHOUS CARBON THIN FILMS DEPOSITED BY PECVD

• Název česky: Vlastnosti modifikovaných amorfních uhlíkových tenkých vrstev připravených metodou PECVD
• Autoři: STOICA Adrian; MOCANU Valentin; ČUPERA Jan; KELAR Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2012
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Chem. listy
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www.chemicke-listy.cz/common/content-issue_s5-volume_106-year_2012.html
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: RF-PECVD; amorphous carbon; protective coatings; DLC
• Popis: Cílem této práce bylo připravit sadu DLC vrstev z různých směsí prekurzorových plynů (metan, vodík, deuterium, dusíku a / nebo HMDSO) pomocí RFPECVD na substráty, jako jsou krystalický křemík, sklo a ocel. Připravené vrstvy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických nástrojů. Vlastnosti čistých a modifikovaných amorfních uhlíkových vrstev s různými přísadami (N, Si, O, D) byly srovnávány. Mechanické zkoušky byly provedeny především pomocí hinstrumentované indentační techniky. Svou pozornost jsme zaměřili na následující vlastnosti: tvrdost, modul pružnosti, lomová houževnatost, přilnavost vrstvy k substrátu. Navíc jsme studovali vliv vnitřního pnutí na vtiskovou odezvu systému vrstva-substrát. Tribologické vlastnosti vrstev byly také zkoumány. Povrchová volná energie vrstev byla určena měřením kontaktního úhlu.

Související projekty

• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
• Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie
• Vývoj technologie vytváření PECVD vrstev pro výrobu automobilové světelné techniky
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy