Informace o publikaci

MEMS Carbon Nanotubes Field Emission Pressure Sensor With Simplified Design: Performance and Field Emission Properties Study

Název česky MEMS senzor na bázi autoemise uhlíkových nanotrubek se zjednodušeným designem: studie autoemise a chování senzoru
Autoři

PEKÁREK Jan VRBA Radomír PRÁŠEK Jan JAŠEK Ondřej MAJZLIKOVA Petra PEKÁRKOVÁ Jana ZAJÍČKOVÁ Lenka

Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj IEEE Sensors Journal
Fakulta / Pracoviště MU

Středoevropský technologický institut

Citace
WWW IEEE Web
Doi http://dx.doi.org/10.1109/JSEN.2014.2363213
Obor Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Klíčová slova Carbon nanotubes; field emitter arrays; microelectromechanical systems; microwave torch
Popis Aplikace senzorů tlaků mají v poslední době velký význam. V tomto článku je MEMs senzor založený na nanostrukturované elektrodě obsahující pole uhlíkových nanotrubek připravených pomocí metody PECVD mikrovlnných pochodňovým výbojem.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info