Informace o publikaci

Temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Autoři

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2015
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Number densities of sputtered Ti atoms and ions in their ground levels were determined by developed technique based on effective branching fractions. Densities were determined for single pulse,sequence of pulses and after the end of the pulse.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info