Informace o publikaci

Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

Autoři

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2015
Druh Článek ve sborníku
Konference Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova HIPIMS; OES; titanium
Popis The aim of this paper is to experimentally study effect of preceding pulse on the temporal evolution of number densities of sputtered species during the subsequent pulse for different delay time between two successive high-power pulses in the pulse packet. Time evolutions of sputtered species during and after pulse in single-pulse mode are presented, too. Intensities of selected lines of buffer gas were acquired during every measurement.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info