Informace o publikaci

Observation of cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behaviour in HiPIMS

Název česky Pozorovanie oscilácií na katódovom napätí a výbojovom prúde a správanie sa spokov v HiPIMS
Autoři

KLEIN Peter HNILICA Jaroslav HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Rok publikování 2015
Druh Článek ve sborníku
Konference Book of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www https://munispace.muni.cz/index.php/munispace/catalog/book/792
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova HiPIMS; spokes; magnetron sputtering; plasma instabilities
Popis The oscillations were observed on cathode voltage and discharge current temporal evolution in HiPIMS pulse. The frequency of the oscillations depends at given pressure only on actual value of the discharge current. Rotation of the spokes over the cathode and the frequency of the oscillations shows different trends. The oscillations are observed at conditions where at least certain critical amount of spokes emerges.
Související projekty: