Time resolved study of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS discharge

• Autoři: FEKETE Matej; HNILICA Jaroslav; VITELARU Catalin; MINEA Tiberiu; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2016
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: A technique based on effective branching fractions was extended to determine the absolute ground state number densities of Ti atoms and Ti ions. The effective branching method was cross validated by TD-LAS technique while studying the dc magnetron sputtering discharge. Influence of preceding pulse on the subsequent pulse in the m-HiPIMS mode was examined as a function of delay (200µs, 400µs and 1500µs) between two successive pulses for the pulse duration of 200µs.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy