Informace o publikaci

Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications

Název česky Přizpůsobení měkkých magnetických vlastností rozprašovaných multivrstev pomocí inženýrství mikrostruktur pro vysokofrekvenční aplikace
Autoři

FALUB Claudiu V. ROHRMANN Hartmut BLESS Martin MEDUŇA Mojmír MARIONI Miguel SCHNEIDER Daniel RICHTER Jan H. PADRUN Marco

Rok publikování 2017
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj AIP Advances
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.4973945
Doi http://dx.doi.org/10.1063/1.4973945
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova ferromagnetic-resonance frequency; on-chip inductors; x-ray-scattering; thin-films; roughness; anisotropy; band
Popis Měkké magnetické tenké vrstvy Ni78.5Fe21.5, Co91.5Ta4.5Zr4 a Fe52Co28B20 vrstvené dielektrickými mezivrstvami SiO2, Al2O3, AlN a Ta2O5 byly vypěstovány na 8" Si deskách pomocí DC, pulsních DC a RF katod v průmyslovém, vysoce propustním Evatec LLS-EVO-II magnetronovém rozprašovacím systému.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info