Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications

• Název česky: Přizpůsobení měkkých magnetických vlastností rozprašovaných multivrstev pomocí inženýrství mikrostruktur pro vysokofrekvenční aplikace
• Autoři: FALUB Claudiu V.; ROHRMANN Hartmut; BLESS Martin; MEDUŇA Mojmír; MARIONI Miguel; SCHNEIDER Daniel; RICHTER Jan H.; PADRUN Marco
• Rok publikování: 2017
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: AIP Advances
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.4973945
• Doi: https://doi.org/10.1063/1.4973945
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: ferromagnetic-resonance frequency; on-chip inductors; x-ray-scattering; thin-films; roughness; anisotropy; band
• Popis: Měkké magnetické tenké vrstvy Ni78.5Fe21.5, Co91.5Ta4.5Zr4 a Fe52Co28B20 vrstvené dielektrickými mezivrstvami SiO2, Al2O3, AlN a Ta2O5 byly vypěstovány na 8" Si deskách pomocí DC, pulsních DC a RF katod v průmyslovém, vysoce propustním Evatec LLS-EVO-II magnetronovém rozprašovacím systému.

Související projekty

• CEITEC - středoevropský technologický institut
• CEITEC 2020