Informace o publikaci

Evolution of sputtered species densities in HiPIMS process with acetylene gas

Autoři

BERNÁTOVÁ Katarína FEKETE Matej KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Rok publikování 2017
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis We report the effect of increasing the mass flow rate of the acetylene gas on the sputtered Ti atom and ion ground state number densities using the spectroscopic method based on effective branching fractions in HiPIMS and DCMS process.
Související projekty: