Fast camera imaging and strip probe measurements of spokes in HiPIMS plasma

• Autoři: HNILICA Jaroslav; KLEIN Peter; ŠLAPANSKÁ Marta; BRADLEY James; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2019
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: The simultaneous measurements using three strip probes flush-mounted into the segmented target together with the fast camera optical imaging are presented. 2D reconstruction of the spokes from current measured by the strip probes is compared to the broadband plasma emission image. Additionally, the dual diagnostic system allows the merging of a set of spokes to be studied as they rotate.

Související projekty

• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Rozvoj centra pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy
• Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev