Mechanical and optical properties of silicon oxide protective coatings prepared by PECVD

• Název česky: Mechanické a optické vlastnosti SiO ochranných vrstev připravených technikou PECVD
• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; JANČA Jan
• Rok publikování: 1997
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Juniormat
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek