Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness

• Autoři: OHLÍDAL Ivan; OHLÍDAL Miloslav; FRANTA Daniel; TYKAL Miroslav
• Rok publikování: 1999
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE3820_456.html
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Coherent optics; Surface roughness; Metrology
• Popis: The values of the basic characteristics of surface roughness measured by means of optical and non-optical methods often differ mutually. So far a systematic comparison of the results obtained by those methods has not been done. The results we have achieved comparing optical and non-optical methods of the surface roughness measurement for selected samples of rough surfaces and for selected methods are presented.

Související projekty

• Společné laboratoře pro aplikovanou fyziku plazmatu a plazmovou chemii na PřF a PedF MU, VA v Brně a ÚFP AV ČR v Praze
• Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod