![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma
Název česky | Vyšší harmonické frekvence výbojového napětí a proudu v kapacitně vázaném plazmatu |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2022 |
Druh | Vyžádané přednášky |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | Zvaná přednáška shrnula několik let výzkumu vyšších harmonických frekvencí, které jsou spontánně generované v kapacitně vázaném plazmatu díky nelinearitě elektrických vlastností plazmatu. Přednáška shrnula vznik vyšších harmonických frekvencí, způsob jejich měření a problematiku Langmuirovy sondy bez vf. kompenzace, výpočet vyšších harmonických měření a jejich chování v řadě případů a na závěr důvod reakce vyšších harmonik na vznik nebo odleptání tenké vrstvy v plazmatických procesech. |
Související projekty: |