Improvement of the Efficiency of the Silicon P-I-N cells by Silicon Incorporated Diamond-like Carbon Antireflective Coating

• Autoři: SLÁDEK Petr; BURŠÍKOVÁ Vilma; SŤAHEL Pavel
• Rok publikování: 2001
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 19th International Conference on Amorphous and Microcrystalline Semiconductors
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Diamod-like carbon; antireflective coatings; solar cells
• Popis: In the present work, the optoelectronical and mechanical properties of the silicon solar cells coated by PECVD with DLC:Si coatings, prepared under different deposition conditions are investigated.

Související projekty

• Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek