Informace o publikaci
In situ measurements of the electrical conductivity of a-C:H films in a pulsed rf discharge
| Název česky | Měření in-situ |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2001 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | conductivity |
| Popis | Měření in-situ |