Spectroscopic analysis of a pulsed magnetron discharge

• Název česky: Spektroskopická analýsa pulzního magnetronového výboje
• Autoři: VAŠINA Petr; MEŠKO Marcel; IMBERT Jean-Christiphe; DE POUCQUEC Ludovic; TEULE-GAY Lionel; BOISSE-LAPORTE Caroline; BRETAGNE Jean; PAGNON Daniel; TOUZEAU Michel; GANCIU MIhai
• Rok publikování: 2004
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceeding of Seventeenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Klíčová slova: pulsed magnetron; spectroscopy
• Popis: Optická emisní spektroskopie byla použita k sledování generace a transportu částic v IPVD reaktoru. Mezi magnetronem a substrátem byly umístěny dvě mikrovlnné antény, které napomáhaly spravnému vývoji proudového pulzu a navíc, re-excitovali rozprášené částice, které se pohybovali směrem k substratu. Transport pal bylo možno sledovat optickou emisní spektroskopií.