Informace o publikaci
Local wing tilt analysis of laterally overgrown GaN by x-ray rocking curve imaging
| Název česky | Lokální analýza rozorientace křídel laterálně přerostlých GaN zobrazením rocking křivek |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of physics D: Applied physics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertBaumbachMikulik-JPD-2005 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; GaN; ELO |
| Popis | Referujeme o nejnovějších výsledcích v prostorově rozlišené rtg difrakci, rozšiřující techniku zvanou zobrazení rocking křivkami na rozlišení 1--2 um. Potenciál metody je demonstrován na sérii GaN vzorků připravených epitaxním přerostením (ELO). Kvantitativní informace o krystalografické rozorientaci a kvalitě mřížky může být získána přímým zobrazením s vysokým laterálním rozlišením. Srovnáváme výsledky ze dvou vzorků ELO-GaN rostlých na různých substrátech. Lokální kvalita mřížky je analyzována pomocí šířky píků difrakčních profilů zaznamenaných jednotlivými pixely na kameře. Rozšíření šířky píků měřené laboratorní rtg difrakcí je interpretováno, a zjištěno, že neznačí degradaci v lokální kvalitě mřížky. |
| Související projekty: |