Informace o publikaci

Nucleation and Precipitation of Interstitial Oxygen in Czochralski Silicon

Název česky Nukleace a precipitace intersticiálního kyslíku v Czochralského křemíku
Autoři

ŠTOUDEK Richard KLANG Pavel KUBĚNA Alan KUBĚNA Josef

Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of The Tenth Scientific and Business Conference SILICON 2006
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Nucleation; Precipitation; Interstitial oxygen; Silicon; Infrared absorption
Popis Ke studiu intersticiálního kyslíku a kyslíkových precipitátů v sérii vícestupňově žíhaných křemíkových vzorků jsme použili infračervenou absorpční spektroskopii. Převzali jsme Hamovu teorii difúzí řízené precipitace. Potom jsme mohli z úbytku koncentrace Oi během vysokoteplotního žíhání stanovit koncentraci kyslíkových precipitátů ve vzorcích. Pro naměření map reciprokého prostoru těchto vzorků jsme použili trojosou rtg difrakci s vysokým rozlišením.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info