Electron Density and Ion Flux in Diffusion Chamber of Low Pressure RF Helicon Reactor

• Název česky: Koncentrace elektronů a tok iontů v difúzní komoře nízkotlakého vf helikonového reaktoru
• Autoři: ŠMÍD Radek; GRANIER Agnes; BOUSQUET Angelique; CARTRY Gilles; ZAJÍČKOVÁ Lenka
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: WDS'06 Proceedings of Contributed Papers, Part II
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Langmuir probe; planar probe; ion flux; electron density
• Popis: Koncentrace elektronů a tok iontů byli měřeny ve vysokofrekvenčním helikonovém reaktoru pří různých magnetických polích, tlaku 0,7 Pa a při vf výkonech 25-600 W pomocí válcové Langmuirovy sondy, planární sondy a optické emisní spetroskopie. Výsledky byly srovnávány.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu