Informace o publikaci
Atomic force microscopy studies of cross-sections of columnar films
| Název česky | Studie řezů sloupcových vrstev pomocí mikroskopie atomové síly |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Measurement Science and Technology |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | atomic force microscopy, columnar structure |
| Popis | V tomto článku jsou pomocí dvou modifikací míkroskopie atomové síly (AFM), tj. standardní AFM a mikrotvrdostní modifikací AFM, studovány sloupcové struktury tenkých vrstev TiO2 a HfO2 připravené na křemíkových waferech. Tyto metody jsou použity na řezy tenkých vrstev, které byly vytvořeny lámáním vzorků sestávajících se z podložek pokrytých studovanými vrstvami. Je ukázáno, že hrany vrstev v řezu nepředstavují překážku při skenování AFM obrazů ani pro jednu modifikaci AFM zmíněnou výše. V tomto článku je též ukázáno, že mód kontrastu mikrotvrdosti AFM je pro studium sloupcové struktury tenkých vrstev užitečnější technika než standardní AFM, vykazují-li řezy umělé vady vzniklé v důsledku lámání vrstev. |
| Související projekty: |